什么是AMC?
危害生產(chǎn)工藝并因此導(dǎo)致成品率降低的空氣中的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)，稱(chēng)為“分子級(jí)污染物”（或氣載分子污染物），英文簡(jiǎn)稱(chēng)“AMC”。 AMC包括空氣中的多種有害氣體和金屬離子。國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)與材料協(xié)會(huì)（SEMI）根據(jù)AMC的化學(xué)性質(zhì)以及對(duì)生產(chǎn)工藝的危害，對(duì)其分為四類(lèi)：酸性(MA)﹑ 堿性(MB), 可凝性(MC)和摻雜性(MD)。（1）酸性AMC ：能夠接受電子（受主）的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)。如氟化氫（HF），二氧化硫（SO2）等。（2）堿性AMC：能夠施于電子（施主）的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)。如氨氣（NH3），六甲基二硅醚（HMDSO）等。（3）可凝性AMC：常溫常壓下，能夠在干凈表面（如硅片）凝結(jié)的氣相物質(zhì)。如硅烷，二丁基甲酚（BHT）,大分子碳?xì)浠衔锏?。?）摻雜性AMC：能夠改變半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性的化學(xué)物質(zhì)。如硼（B）,磷(P)等。HEPA高效過(guò)濾器和ULPA超高效過(guò)濾器
HEPA 是英語(yǔ)high efficiency particle air filter的縮寫(xiě)形式，ULPA是英語(yǔ) ultra low penetration air filter的縮寫(xiě)形式。
根據(jù)EN1822 分級(jí)，HEPA分為五個(gè)等級(jí)，即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14；ULPA分為三個(gè)等級(jí)，即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA過(guò)濾器是潔凈室的心臟，所以要保證潔凈室的潔凈度，要對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行逐臺(tái)掃描檢測(cè)，下表是不同等級(jí)過(guò)濾器對(duì)效率的最低要求。例如H13對(duì)MPPS的最低效率為99.95%，一般記作：效率 99.95% at MPPS風(fēng)淋 , 這與“效率 99風(fēng)淋室 .shengjie-jh.cn">風(fēng)淋門(mén).95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同，因?yàn)?.12 或0.3 不一定是該過(guò)濾器的最易穿透粒徑，對(duì)于HEPA 高效過(guò)濾器和ULPA超高效過(guò)濾器，一定要知道該過(guò)濾器的“最易穿透粒徑MPPS”是多少。
